普达特科技获得一台半导体高温硫酸清洗设备的样机订单
普达特科技获得一台半导体高温硫酸清洗设备的样机订单
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普达特科技（00650）发布公告，公司已从一个客户处获得一台半导体高温硫酸清洗（高温SPM）设备（该设备）的样机订单。该设备目前已处于组装与测试阶段，前期已通过客户的多项工艺性能测试与马拉松测试，部分指标达到国际领先水平，显著推进了国产高温SPM清洗设备打破海外垄断的进程。该样机订单的收入暂未确认。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及确信，于本公告日期，该客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。
该设备采用高温SPM清洗工艺，可覆盖12英寸晶圆关键制程的PR-strip、PostCMP、NiPtremove等多种应用，是业界公认的高难度湿法工艺，市场目前由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备，具备国内领先、国际一流的高温控制能力，可覆盖至190°C的高温SPM工艺，经马拉松验证，终端工艺腔体高温硫酸温控范围±2°C，优于主要海外供应商的±5°C。该设备通过NiPtremove工艺demo测试，在高挑战性的工况下取得了与国际基准产品对齐的测试结果。该设备在设计方面，采用了化学供液系统与工艺腔室集成化的设计，保证了更大的工艺兼容性与灵活的应用配置，可为客户提供更具综合竞争力与性价比的解决方案。
下一阶段，公司将致力于完成该设备的交付与验证，并扩大客户在高端应用领域对集团的设备的采用，充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势，解决行业痛点，提高客户效率，继续推动高端半导体设备国产化。
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清远市（清城、清新）
宜昌市（宜都市、长阳土家族自治县、🍵当阳市、🥄五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、夷陵区、远安县、点军区、枝江市、猇亭区、秭归县、伍家岗区、🌓市辖区）
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安康市（宁陕县、🍧白河县、🐓汉阴县、岚皋县、🏏石泉县、🛡市辖区、紫阳县、🕘汉滨区、🍔旬阳县、镇坪县、👌平利县）
宜昌市（伍家岗区、西陵区、点军区、😀猇亭区、🥦夷陵区、🤛远安县、🍌兴山县、秭归县、♒️长阳土家族自治县、🙌五峰土家族自治县、🤥宜都市、当阳市、☘️枝江市、🤘虎亭区）
白山市：浑江区、👏江源区。
赣州市（南康区、☘️章贡区、🐇赣县区、🌔信丰县、大余县、上犹县、⛎崇义县、安远县、🔅龙南县、🌮定南县、全南县、宁都县、👌于都县、兴国县、🤞会昌县、寻乌县、石城县、长征镇、沙洲镇、黄冈镇）
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银川市（永宁县、😱兴庆区、💖西夏区、🌧金凤区、贺兰县、🥔灵武市、市辖区）
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抚顺市：🧂顺城区、新抚区、🖤东洲区、望花区。
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铁岭市：😵银州区、📵清河区。
贵州省安顺市（西秀区、🎱平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、🐂关岭布依族苗族自治县、🤜紫云苗族布依族自治县、🥯安顺市、开阳县）
抚顺市：顺城区、新抚区、🈹东洲区、😎望花区。
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珠海市（香洲区、斗门区、🍭金湾区、🐘横琴新区、万山区、💣珠海高新区、☹️唐家湾镇、😺三灶镇、白石镇、🐨前山镇、🐇南屏镇、👊珠海港镇、金鼎镇）
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南昌市（东湖区、🌻西湖区、☢️青山湖区、红谷滩新区、南昌县、新建区、🍙安义县、进贤县、🛐️湾里区、🐁昌北区）
南投县（信义乡、🔞竹山镇、🍧中寮乡、🤨水里乡、🌑草屯镇、🦇仁爱乡、名间乡、🐽埔里镇、🍮鹿谷乡、国姓乡、鱼池乡、🌟集集镇、南投市）
榆林市（榆阳区,横山区）朝阳市（双塔区、龙城区）
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南昌市（东湖区、西湖区、🙀青山湖区、红谷滩新区、南昌县、🥒安义县、进贤县、经开区、青山湖区、湾里区、☸️赣江新区、青云谱区、☀️浔阳区）
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桂林市（秀峰区、🕗️象山区、七星区、雁山区、✴️临桂区、😝阳朔县、资源县、平乐县、灌阳县、🕛荔浦市、灵川县、全州县、👍永福县、🉑龙胜各族自治县、🐁恭城瑶族自治县）：🐉
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台州市（椒江、🤖黄岩、☮️️路桥）
泰州市（海陵区、🍻高港区、姜堰区、兴化市、♎️泰兴市、🌝靖江市、🦏扬中市、丹阳市、泰州市区、姜堰区、☝️海安镇、周庄镇、🖐东进镇、世伦镇、🐗青龙镇、杨湾镇、🕉️马桥镇）
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雅安市（汉源县、市辖区、🐡名山区、🐉石棉县、🕐荥经县、宝兴县、天全县、💗芦山县、🍈雨城区）
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南昌市（青山湖区、红谷滩新区、东湖区、🍢西湖区、青山湖区、南昌县、进贤县、安义县、👐湾里区、✳️地藏寺镇、瑶湖镇、🐺铜鼓县、😂昌北区、青云谱区、望城坡镇）
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昆山市（昆山开发、高新、🍓综合保税）
许昌市（魏都）
济南市（历下、市中、🤥槐荫、😽️天桥、😅历城、长清）
安康市（宁陕县、🚷白河县、汉阴县、🐯️岚皋县、石泉县、市辖区、紫阳县、⛳️汉滨区、🕒️旬阳县、镇坪县、平利县）
常州市（天宁、🅾️钟楼、新北、武进、日照坛）
郑州市（中原、二七、管城、日照水、🥋上街、惠济）
中卫市（沙坡头区、海原县、中宁县、😫市辖区）
金华市（武义县、东阳市、磐安县、浦江县、🤞兰溪市、🕘永康市、婺城区、义乌市、🤟市辖区、金东区）
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